渦旋真空泵
完全密封,完全干式壓縮,無任何泄露及外界空氣污染,渦旋真空泵是應用于空氣抽取和氣體輸送的理想解決方案。持續高真空、低噪音以及低振動等特點使得新型渦旋真空泵適合實驗室等特定領域使用。渦旋真空泵幾乎無需維護。較高的效率保證了其在低能耗下的最大抽氣速率。
渦旋真空泵的特點
1) 結構緊湊,占地面積小,安裝移動方便。
2) 工作真空區域寬,從極限真空至大氣壓均能高效工作,抽氣效率高,可大大簡化抽真空系統。
3) 泵腔里無潤滑油,可獲得清潔真空。
4) 噪音低,振動小。
5) 結構簡單可靠,幾乎可以免維護。
6) 風冷結構,無需冷卻水冷卻,應用范圍更寬。
7) 綠色環保,無排污,無污染,無廢棄排放處理成本。
渦旋真空泵的應用領域
渦旋泵已被廣泛應用于諸多領域:
1) 半導體行業: 薄膜制造設備、半導體器件封裝設備。
2) 科學儀器行業:同步輻射光束線機、電子顯微鏡、極光試驗設備、分析測試儀器。
3) 機械設備行業: 材料制備設備、真空檢測設備、真空過濾設備、材料提純設備、超高真空排氣設備。
4) 醫療設備行業: 牙科儀器、透析機; 生物制品行業:材料提純與藥品制備。
5) 包裝行業: 食品、藥品、生物制品等包裝設備。
6) 真空冶金行業: 真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備等領域。
渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統的最佳配置。
型 號 參 數 | YY-WX-3 YY-WX-3B | YY-WX-6 YY-WX-6B | YY-WX-15 YY-WX-15B | YY-WX-22 YY-WX-22B | |
抽速(L/s) | 3 | 6 | 15 | 22 | |
極限壓力(pa) | 3/100 | 3/100 | 3/100 | 3/100 | |
噪聲(dB) | 60 | 60 | 65 | 65 | |
長*寬*高 (mm) | 防爆電機 | 463*298*287 | 514*370*333 | 639*447*399 | 722*442*406 |
普通電機 | 448*218*251 | 489*313*314 | 693*377*399 | 662*375*406 | |
重量 (kg) | 防爆電機 | 28 | 49 | 75 | 88 |
普通電機 | 18 | 39 | 65 | 77 | |
進氣口 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | |
排氣口 | KF16 | KF25 | KF25 | KF25 | |
泵轉速(r/min) | 1400 | 1430 | 1435 | 1445 | |
電機功率(kW) | 0.25 | 0.75 | 1.5 | 3 | |
電源(V/Hz) | 380/50 | 380/50 | 380/50 | 380/50 |
性能曲線
渦旋真空泵的工作原理
渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。
渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起,動、靜盤之間由防自轉機構保證180°相位差,這樣組成的一對渦旋盤副構成了無油渦旋真空泵的抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個點) 上接觸形成幾對月牙形封閉腔,動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動,接觸點沿渦旋曲面移動實現吸氣、壓縮與排氣。在電機的帶動下,曲軸每轉一圈,就有一組新的月牙封閉腔形成,從而實現渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環,對被抽氣體形成包容和強制輸送。
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